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        ALICAT耐腐蝕氣體質量流量計

        更新時間:2019-06-14

        簡要描述:

        ALICAT耐腐蝕氣體質量流量計采用全316L不銹鋼結構及密封的316L不銹鋼傳感器,可根據不同應用需求選擇相應的彈性密封材料, 如:FFKM、EPDM、Viton及Buna-n等。Alicat的層流壓差技術能以 驚人的速度測量氣體質量流量,且具備一系列標準性能,如:200:1量程可調比、內置30種氣體可選、多功能數字顯示屏及有條件的終身質保等。

          免費咨詢:86-10-87241391

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        一、ALICAT耐腐蝕氣體質量流量計產品優勢

        操作簡單

        Alicat 質量流量計&質量流量控制器操作極其簡單,用戶可通過多功能數字顯示屏調節參數,無需連接電腦或其它任何復雜的編程軟件。

        精確控制

        Alicat 標準型質量流量計&質量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.),幾乎所有型號通過增加高精選配項可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。

        高性價比

        Alicat 質量流量計&質量流量控制器本身耗電極小,從而降低了系統運營的成本,且相比于同類產品,其壓損較低,降低壓損意味著更多氣體進入到系統中,而不是停留在測量&控制設備中。除質量流量外,Alicat 質量流量計&質量流量控制器還可同時測量體積流量、壓力和溫度,您無需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經氣體總量,是監控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。MCS系列的模塊化設計使其成為真空應用的佳選擇。

        性能

        MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量,除了RS-232數字信號輸出,還配有多種模擬信號輸出。MS系列質量流量計亦有便攜式型號(MBS系列),采用一塊普通9伏電池供電,即成為一款適用于腐蝕性氣體的二等標準流量校準設備。

        反應靈敏

        與相應標準型M/MC系列相同,MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器(防腐蝕型)其測量響應小于10毫秒、控制響應為100毫秒。

        高重復性

        Alicat 的技術使得質量流量計&質量流量控制器幾乎沒有可移動部件,所有零件都被內置固定,腔體內不存在物理變化,從而具有較高的*性和重復性。所有Alicat 質量流量計&質量流量控制器的重復性可達±0.2% F.S。

        值得信賴

        現有超過90000臺Alicat設備正被使用在不同領域中,質量流量控制器主要應用于醫藥、半導體、燃料電池、如:科學研究、泄漏測試、環境監測、 真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量&控制等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書。

        二、ALICAT耐腐蝕氣體質量流量計標準性能

        • 多功能數字顯示屏
        • 顯示多種測量參數:質量流量、體積流量、溫度和壓力
        • 低壓損
        • 無需預熱
        • 316L不銹鋼本體&傳感器
        • FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可選
        • 可調節PID算法 (僅用于質量流量控制器)
        • 內置130種常用氣體可選 ,開放COMPOSER? — 氣體編輯器,允許用戶自定義混合氣體組分
        • 200:1 量程可調比

        三、性能參數

        指標

        ALICAT耐腐蝕氣體質量流量計

        量程

        0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....2000SLPM,3000SLPM,4000SLPM

        精度

        ±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數±0.2%滿量程)

        重復性

        ±0.2%

        量程比

        200:1

        響應時間

        10ms

        標準狀態(STP)

        25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

        溫度范圍

        -10~50

        零點漂移

        0.02

        量程漂移

        0.02

        濕度范圍

        0-100%

        測量流量范圍

        128%(過流率)

        大耐壓

        145psi

        輸出信號(數字)

        質量流量、體積流量、壓力和溫度

        數字信號可選

        RS485,Modbus,Profibus

        輸出信號(模擬)

        質量流量、體積流量、壓力和溫度

        模擬信號可選

        0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

        電氣連接

        8針/9針/15針(根據不同類型流量計而定)

        供電電壓

        7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)

        供電電流

        0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A)


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