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        國產質量流量計

        更新時間:2019-08-19

        簡要描述:

        國產質量流量計耐壓100bar(產品在50MPa壓力下通過打壓測試),可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。Z大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的Z大流量可測到100SLPM。

          免費咨詢:86-10-87241391

          發郵件給我們:info@hammertech.com.cn

        一、國產質量流量計產品特點

        · 測量質量流量

        · 無需溫度和壓力補償

        · 結構緊湊

        · 精度高

        · 工作壓力高

        · 響應時間快

        · 重復性高

        二、國產質量流量計產品簡介

        本體耐壓100bar,可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。氣體大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的大流量可測到100SLPM。

        三、國產質量流量計技術參數

        型號

        質量流量計/質量流量控制器

        流量范圍(N2)

          10SCCM~100SLPM

          響應時間

          <2 sec

        精準度

          ≤±1% FS

          重復精度

          ±0.2% FS

          輸入/輸出信號

        0~5 Vdc OR 4~20 mA

        供電電源

          ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

         耐壓

          <100bar

        工作環境溫度

          0~50 °C

        漏率

          1*10E-9 atm cc/sec

        使用范圍

          2 ~ 100%

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